風機是潔凈工作棚中非常重要的部件。風機從FFU頂部將空氣吸入,經初效過濾器,再經過過濾器過濾,過濾后的潔凈空氣在整個出風面以0.45m/s±20%的風速勻速送出到潔凈棚內。形成均流層,使潔凈空氣氣流呈垂直單向流,從而保證了工作區內所要求的潔凈度。
垂直層流式方向要保持均一氣流:(a)吹出面的風速不可有速度上的差異;(b)地板回風板吸入面之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s,0.7m/s)均有渦流之現象發生,而0.5m/s之速度,氣流則較均一,目前一般潔凈室,其風速均取在0.25~0.5m/s之間。
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